:1、主体成分含量必须大于某一定值。
2、各杂质组分含量必须小于某一定值。 电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需满足以上要求, 可列为高纯气体。理论上, 高纯气体的纯度= 主体成分含量= 1-∑ 杂质含量。事实上, 用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。既使象二氧化碳这类产品, 可以通过规定的方法, 直接测定得到“纯度值”, 但该值也包含有水分、酸性气体及其它与强碱作用的成分。所以说, 该“纯度”也并非理论意义上的气体纯度。而另外一种通过测定气体中所含有的所有杂质成分, 计算求得气体纯度(理论纯度) 的方法, 同样难以实现。
高纯气体(High Purity Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氢，氮，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.199%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99199%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮，氢，氦可作为运载气，保护气和配制混合气的底气。高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。
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